Segurança em toda a área, demonstrador integrado, versatilidade de carregamento
Dimensões do corpo
Precisão Combinada
Métodos de Navegação
Cargas de plataforma
Introdução do aplicativo
*Manuseio automatizado de materiais em bordas de fios semicondutores
*Adequado para processos com ciclos de produção soltos
*Adequado para situações individuais de fluxo de materiais
*É adequado para o fluxo de pessoas no terreno e movimentação de materiais sem restrições
*Adequado para equipamentos de chão de fábrica não são fixos e suportam alterações de layout
*Aplica-se ao teste Wafer BG WS DB WB Final TEST
*Conformidade com Sala Limpa ISO14644-14, Padrão SEMI S2 e padrões ESD
Sistema de Carregamento
Estação de bateria única
| Quantidade de armazenamento | 1/2 compartimento + 1 compartimento de troca |
| Classe Limpa | classe 1K |
| Sistema de controle | PLC |
| Sistema de Dados | BCMS (opcional) |
| Tempo de substituição da bateria | 3 minutos |
Estação de bateria
| Quantidade de armazenamento | ≥5 caixas |
| Classe Limpa | classe 1K |
| Sistema de controle | PLC |
| Sistema de Dados | BCMS |
| Tempo de substituição da bateria | 4 minutos |
Sistema de gerenciamento de bateria
Introdução do aplicativo
* Manuseio automatizado de materiais na produção de semicondutores
*É adequado para tempos de ciclo curtos e múltiplas situações de produção combinadas
*É adequado para manuseio ponto a ponto com grande volume, peso pesado e baixa precisão de encaixe
* Adequado para FORNO, Burn in, cestos de rack, porta-caixas
*Em conformidade com as normas Cleanroom ISO14644-14, SEMI S2 Standard e ESD
Aplicações
Polimento e transporte de wafer
Carga e descarga SMT MGZ
Carregamento e descarregamento do FORNO
Transbordo de E-rack
Bloco4. No.358 Jinhu Road, distrito de Pudong, Xangai, China
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